一种带电粒子的偏转装置

摘要

本发明提供了一种带电粒子的偏转装置，所述偏转装置包括：偏转电极板和绝缘支撑板（4）；该偏转电极板与绝缘支撑板（4）均为圆形，所述偏转电极板包括顶层偏转电极板（1）、中间偏转电极板（2）和底层偏转电极板（3）；所述偏转电极板的表面设有若干组同心的环形锯齿结构，该环形锯齿结构中的所有锯齿均保持同一时针排列，所述锯齿均朝向带电粒子的入射方向。利用该偏转装置能够避免带电粒子碰撞偏转电极板后产生前向散射及其二次粒子产物产生前向发射，使带电粒子及其二次粒子产物只进行后向反射，从而避免带电粒子通过偏转装置的通道，而只保证中性原子直接通过偏转装置。

主权项

一种带电粒子的偏转装置，其特征在于，所述偏转装置包括：偏转电极板和绝缘支撑板(4)；该偏转电极板与绝缘支撑板(4)均为圆形，所述偏转电极板包括顶层偏转电极板(1)、中间偏转电极板(2)和底层偏转电极板(3)；所述顶层偏转电极板(1)的下表面设有若干组同心的环形锯齿结构，所述底层偏转电极板(3)的上表面设有若干组同心的环形锯齿结构，所述中间偏转电极板(2)的上表面和下表面均设有若干组同心的环形锯齿结构；所述顶层偏转电极板(1)、中间偏转电极板(2)和底层偏转电极板(3)的环形锯齿结构中的所有锯齿均保持同一顺时针或同一逆时针排列，所述锯齿均朝向带电粒子的入射方向；所述底层偏转电极板(3)、中间偏转电极板(2)和顶层偏转电极板(1)由下而上依次平行叠放，并在电极板之间均放置绝缘支撑板(4)，所述偏转装置的电极板至少为三层。