EVAPORATION SOURCE FOR ORGANIC MATERIAL DEPOSITION APPARATUS FOR DEPOSITING ORGANIC MATERIAL IN A VACUUM CHAMBER AND METHOD FOR EVAPORATING AN ORGANIC MATERIAL

摘要

유기 재료를 위한 증발 소스가 설명된다. 증발 소스는, 증발 도가니 ― 증발 도가니는 유기 재료를 증발시키도록 구성됨 ―; 하나 또는 그 초과의 배출구들을 갖는 분배 파이프 ― 분배 파이프는 증발 도가니와 유체 소통하고, 분배 파이프는, 증발 동안에, 축을 중심으로 회전가능함 ―; 및 분배 파이프를 위한 지지부를 포함하며, 지지부는 제 1 드라이브에 연결가능하거나, 또는 제 1 드라이브를 포함하고, 제 1 드라이브는 분배 파이프 및 지지부의 병진 이동에 대해 구성된다.