重力补偿装置

摘要

本发明公开了一种重力补偿装置，用于支撑光刻机中工件台和掩模台的微动台，包括：底座、活塞、护套、摆机构、气囊结构和负载板；其中，所述底座中设有气室，用于支撑位于所述气室顶部的活塞；护套套设在活塞上并与底座刚性连接；所述气囊结构连接在活塞与护套之间，与所述摆机构串联；所述摆机构连接在负载板与活塞之间。本发明通过在负载板与活塞之间增设摆机构，从而将负载板上的负载的重力通过该摆机构传递到活塞上；根据弹簧串联原理，两个串联弹簧的刚度小于其中任意一个弹簧的刚度，因此，将摆机构与气囊结构互联，可以同时实现本发明的重力补偿装置的垂向和水平向的低刚度。

主权项

一种重力补偿装置，用于支撑光刻机中工件台和掩模台的微动台，其特征在于，包括：底座、活塞、护套、摆动机构、气囊结构和负载板；其中，所述底座中设有气室，用于支撑位于所述气室顶部的活塞；护套套设在活塞上并与底座刚性连接；所述气囊结构连接在活塞与护套之间，与所述摆动机构串联；所述摆动机构包括刚性杆、柔性杆和连接板，所述负载板通过刚性杆与所述连接板连接，所述连接板通过柔性杆与活塞连接，所述摆动机构连接在负载板与活塞之间。