供双面研磨装置的研磨垫用的修整装置和修整方法

摘要

本发明涉及供双面研磨装置的研磨垫用的修整装置和修整方法，以便提供能够均匀修整研磨垫的修整装置的修整方法。修整装置包括第一修整磨石(51)和第二修整磨石(52)，它们通过在抵靠在对应的研磨垫(17)和(18)上的同时沿上研磨板(12)和下研磨板(14)的径向移动来磨削研磨垫(17)和(18)，其中，第一修整磨石(51)和第二修整磨石(52)被设置为具有：内侧区域部(P)；外侧区域部(Q)；以及中间区域部(R)，其中，内侧区域部(P)和外侧区域部(Q)中的每一个沿研磨板(12)和(14)的周向延伸的长度比中间区域部(R)沿研磨板的周向延伸的长度长。

主权项

一种供双面研磨装置的研磨垫用的修整装置，该修整装置用于修整上研磨板和下研磨板这二者的研磨垫，所述双面研磨装置包括：环状的所述下研磨板，该下研磨板的上表面上固定有所述研磨垫并且被设置成能以旋转轴为中心旋转；环状的所述上研磨板，该上研磨板的下表面上固定有所述研磨垫并且被设置成能在所述下研磨板的上方竖直移动且被设置成能以旋转轴为中心旋转；太阳齿轮，该太阳齿轮被布置在所述下研磨板的中心处；内齿轮，该内齿轮被布置成围绕所述下研磨板；载体，该载体被布置在所述下研磨板与所述上研磨板之间，具有用于保持工件的通孔，并且在与所述太阳齿轮和所述内齿轮啮合的同时绕所述太阳齿轮公转并且绕其自身的轴线自转；以及浆料供给机构，该浆料供给机构用于向所述研磨垫供给浆料，所述修整装置包括：臂构件，该臂构件被设置为进入到所述上研磨板与下研磨板之间并且能够沿直线运动或以旋转轴为中心以弧形摇摆；支撑构件，该支撑构件设置在所述臂构件的尖部处；第一修整磨石和第二修整磨石，所述第一修整磨石和第二修整磨石分别设置在所述支撑构件的上表面侧和下表面侧上，并且由于所述臂构件沿直线运动或以弧形摇摆而在抵靠在对应的研磨垫表面上的同时沿所述上研磨板和下研磨板的径向移动，从而磨削对应的研磨垫，其中，所述第一修整磨石和第二修整磨石中的每一者均具有：内侧区域部，该内侧区域部在沿所述上研磨板和下研磨板的内边缘方向移动时位于所述上研磨板和下研磨板的内边缘侧上，并且沿所述上研磨板和下研磨板的径向延伸所需长度；外侧区域部，该外侧区域部在沿所述上研磨板和下研磨板的外边缘方向移动时位于所述上研磨板和下研磨板的外边缘侧上，并且沿所述上研磨板和下研磨板的径向延伸所需长度；以及中间区域部，该中间区域部位于所述内侧区域部与所述外侧区域部之间，并且沿所述上研磨板和下研磨板的径向延伸所需长度，并且其中，所述内侧区域部和所述外侧区域部中的每一者沿所述上研磨板和下研磨板的周向延伸的长度被设置为比所述中间区域部沿所述上研磨板和下研磨板的周向延伸的长度长。