TARGET METHOD FOR PRODUCING THE SAME MEMORY AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME

摘要

Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, 및, 란타노이드 원소의 원소군으로부터 선택된 1종 이상의 고융점 금속 원소와, Al, Ge, Zn, Co, Cu, Ni, Fe, Si, Mg, Ga로 구성되는 군에서 선택된 1종 이상의 원소와, S, Se, Te로 구성되는 군에서 선택된 1종 이상의 칼코겐 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 타겟.