一种两束干涉仪出射平面波光束间角度偏差标定方法

摘要

本发明公开了一种两束干涉仪出射平面波光束间角度偏差标定方法，包括以下步骤：(1)利用第一干涉仪对平面反射镜进行干涉测量，测量过程中通过调整平面反射镜的角度将干涉条纹调至零条纹；通过激光跟踪仪对平面反射镜面形进行测量，利用测量点拟合第一平面；(2)调整平面反射镜位置，利用第二干涉仪对平面反射镜进行干涉测量，测量过程中通过调整平面反射镜的角度将干涉条纹调至零条纹；通过激光跟踪仪对平面反射镜面形进行测量，利用测量点拟合第二平面；(3)计算第一平面与第二平面出射平面波间的角度偏差。本发明实现对光学系统装调中涉及到的平面波角度标定，具有标定精度高、标定步骤简单的优点。

主权项

一种两束干涉仪出射平面波光束间角度偏差标定方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)利用第一干涉仪对平面反射镜进行干涉测量，测量过程中通过调整平面反射镜的角度将干涉条纹调至零条纹；通过激光跟踪仪对平面反射镜面形进行测量，利用测量点拟合平面，所得第一平面的方程为a₁x+b₁y+c₁z+d₁＝0，(x,y,z)为平面坐标变量，a₁、b₁、c₁、d₁为拟合系数；(2)调整平面反射镜位置，利用第二干涉仪对平面反射镜进行干涉测量，测量过程中通过调整平面反射镜的角度将干涉条纹调至零条纹；通过激光跟踪仪对平面反射镜面形进行测量，利用测量点拟合平面，所得第二平面的方程为a₂x+b₂y+c₂z+d₂＝0，(x,y,z)为平面坐标变量，a₂、b₂、c₂、d₂为拟合系数；(3)计算第一平面与第二平面出射平面波间的角度偏差$\theta =\frac{a_1{a}_2+b_1{b}_2+c_1{c}_2}{\sqrt{a_1^2+b_1^2+c_1^2}·\sqrt{a_2^2+b_2^2+c_2^2}}.$