发明名称 |
晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种晶体硅太阳能电池的绒面结构的制备方法,包括如下步骤:(1)将硅片放入碱性溶液中,去除硅片表面损伤层;(2)然后将硅片放入酸性溶液中,减小不同晶粒上的结构差异;(3)在上述步骤(2)的硅片表面形成多孔质层结构;(4)然后用第一化学腐蚀液进行表面刻蚀,即可得到晶体硅太阳能电池绒面结构。本发明先对硅片表面进行预处理,即先进行碱性溶液去损伤层,然后用酸性溶液进行各向同性腐蚀,两者的配合使用最终得到适合制备纳米绒面的表面结构,在光电转换效率上取得了明显的优势。 |
申请公布号 |
CN106340550A |
申请公布日期 |
2017.01.18 |
申请号 |
CN201610937271.9 |
申请日期 |
2016.10.25 |
申请人 |
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
发明人 |
邹帅;王栩生;邢国强 |
分类号 |
H01L31/0236(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0236(2006.01)I |
代理机构 |
苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 |
代理人 |
陆金星 |
主权项 |
一种晶体硅太阳能电池的绒面结构的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1) 将硅片放入碱性溶液中,去除硅片表面损伤层;(2) 然后将步骤(1)的硅片放入酸性溶液中,减小不同晶粒上的结构差异;(3) 在上述步骤(2)的硅片表面形成多孔质层结构;(4) 然后用第一化学腐蚀液对步骤(3)的硅片表面进行刻蚀,即可得到晶体硅太阳能电池绒面结构;所述第一化学腐蚀液为含有氢氟酸和氧化剂的混合溶液。 |
地址 |
215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号 |