发明名称 晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法
摘要 本发明公开了一种晶体硅太阳能电池的绒面结构的制备方法,包括如下步骤:(1)将硅片放入碱性溶液中,去除硅片表面损伤层;(2)然后将硅片放入酸性溶液中,减小不同晶粒上的结构差异;(3)在上述步骤(2)的硅片表面形成多孔质层结构;(4)然后用第一化学腐蚀液进行表面刻蚀,即可得到晶体硅太阳能电池绒面结构。本发明先对硅片表面进行预处理,即先进行碱性溶液去损伤层,然后用酸性溶液进行各向同性腐蚀,两者的配合使用最终得到适合制备纳米绒面的表面结构,在光电转换效率上取得了明显的优势。
申请公布号 CN106340550A 申请公布日期 2017.01.18
申请号 CN201610937271.9 申请日期 2016.10.25
申请人 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 发明人 邹帅;王栩生;邢国强
分类号 H01L31/0236(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I 主分类号 H01L31/0236(2006.01)I
代理机构 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 代理人 陆金星
主权项 一种晶体硅太阳能电池的绒面结构的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1) 将硅片放入碱性溶液中,去除硅片表面损伤层;(2) 然后将步骤(1)的硅片放入酸性溶液中,减小不同晶粒上的结构差异;(3) 在上述步骤(2)的硅片表面形成多孔质层结构;(4) 然后用第一化学腐蚀液对步骤(3)的硅片表面进行刻蚀,即可得到晶体硅太阳能电池绒面结构;所述第一化学腐蚀液为含有氢氟酸和氧化剂的混合溶液。
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