微机械声转换器装置以及相应的制造方法

摘要

本发明涉及一种微机械声转换器装置和一种相应的制造方法。所述微机械声转换器装置包括具有前侧和背侧的衬底，其中衬底具有在背侧和前侧之间延伸的贯通开口，以及具有构造在前侧上的具有线圈轴线的线圈装置，所述线圈轴线基本上平行于前侧延伸，其中线圈装置至少部分跨越贯通开口。此外设置磁体装置，其如此设置，使得通过所述磁体装置可以产生穿过线圈装置的轴向磁通量。所述线圈装置具有绕组装置，所述绕组装置至少具有由低维的导电材料层构成的第一绕组区段，其中线圈装置如此构造，使得其能够感应地检测和/或产生声。

主权项

一种微机械声转换器装置，其具有：具有前侧(VS)和背侧(RS)的衬底(1)；其中，所述衬底(1)具有在所述背侧(RS)和所述前侧(VS)之间延伸的贯通开口(K，FZ)；构造在所述前侧(VS)上的具有线圈轴线(X)的线圈装置(SA；SA′)，所述线圈轴线基本上平行于所述前侧(VS)延伸，其中，所述线圈装置(SA；SA′)至少部分跨越所述贯通开口(K，FZ)；磁体装置(M1，M2；M1′，M2′)，其如此设置，使得通过所述磁体装置能够产生穿过所述线圈装置(SA；SA′)的轴向磁通量(F)；其中，所述线圈装置(SA；SA′)具有绕组装置(W1，W2，W3，W4；W1′，W2′，W3′，W4′)，所述绕组装置具有至少第一绕组区段(N1，N2，N3)，所述第一绕组区段由低维的导电材料层构成；其中，所述线圈装置(SA；SA′)如此构造，使得其能够感应地检测和/或产生声(SC)。