机床进给机构及其大行程纳米级分辨率运动进给驱动装置

摘要

本发明提供一种机床进给机构，包括床身、设置在床身上的溜板、以及设置在溜板运动方向上的驱动装置，驱动装置装设在溜板的顶面，驱动装置包括两个安装座、两个直线电机、一个过桥板、两条高分辨率的位置反馈元件光栅、两个读数头及一个运动控制系统；安装座连接在溜板上，两个直线电机对称安装在两个安装座内侧面，过桥板将两个直线电机联结在一起，读数头连接在安装座顶面，读数头下方连接光栅；通过运动控制系统和光栅，驱动溜板相对床身做纳米分辨率的运动。本发明将直线电机置于溜板上方，采用对称结构的双电机驱动，使溜板的平稳性能大大提高，且通过运动控制系统进行指令设置，可以驱动溜板按照纳米分辨率的精度平稳执行运动。

主权项

一种机床进给机构，包括床身、设置在所述床身上的溜板、以及设置在所述溜板运动方向上的驱动装置，其特征在于：所述驱动装置装设在所述溜板的顶面，所述驱动装置包括两个安装座、两个直线电机、一个过桥板、两条高分辨率的位置反馈元件光栅、两个读数头及一个运动控制系统；所述安装座连接在所述溜板上，两个所述直线电机对称安装在两个所述安装座内侧面，所述过桥板将两个所述直线电机联结在一起，所述读数头连接在所述安装座顶面，所述读数头下方连接所述光栅；通过所述运动控制系统和所述光栅，驱动所述溜板相对所述床身做纳米分辨率的运动；所述直线电机与其固定的所述安装座之间放置有隔磁板；所述直线电机与所述过桥板之间设有冷却板；所述读数头通过支架连接在所述安装座；所述读数头配置有调整螺钉；所述光栅安装在光栅安装板上；所述溜板底面设置有多个空气静压支承垫，所述空气静压支承垫通过空气管道通向所述溜板侧面外，由压力控制阀控制；所述床身放置在品字排列的三个减振支撑上面。