真空ゲートバルブ及び真空ゲートバルブの開口方法

摘要

【課題】弁板全幅に亘っての対策を提案するもので、Oリングがシール面から離れる際、ばねは粘着力に打ち勝つ力が得られるまでの変位を弁板全幅に亘って調整し、Oリングがシール面からはずれたときに発生する衝撃音や振動を小さくする。【解決手段】弁開閉手段が、弁板部から弁板端部にかけて弁板の全幅に複数個設置され、弁板部に配置された弁開閉手段のばね復帰力と弁板端部に配置された弁開閉手段のばね復帰力とが異なるように調整され、弁板にしなりが形成される。【選択図】図２