| 发明名称 | 薄膜电阻器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及薄膜电阻器及其制造方法。该薄膜电阻器，在保持良好的TCR特性的同时，具有比现有产品高的电阻值。该薄膜电阻器在基板上形成有一对电极和与所述一对电极连接的电阻膜，所述电阻膜包括第一电阻膜和第二电阻膜，所述第二电阻膜的TCR与所述第一电阻膜的TCR不同，所述第一电阻膜和所述第二电阻膜均以Si、Cr、N为主要成分。 | ||
| 申请公布号 | CN106340361A | 申请公布日期 | 2017.01.18 |
| 申请号 | CN201610525682.7 | 申请日期 | 2016.07.05 |
| 申请人 | KOA株式会社 | 发明人 | 广岛安 |
| 分类号 | H01C7/00(2006.01)I;H01C7/06(2006.01)I;H01C17/12(2006.01)I | 主分类号 | H01C7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人 | 张瑞;郑霞 |
| 主权项 | 一种薄膜电阻器，所述薄膜电阻器在基板上形成有一对电极和与所述一对电极连接的电阻膜，其中，所述电阻膜包括第一电阻膜和第二电阻膜，所述第二电阻膜的TCR与所述第一电阻膜的TCR不同，所述第一电阻膜和所述第二电阻膜均以Si、Cr、N为主要成分。 | ||
| 地址 | 日本长野县 | ||