一种快速沉积炉石墨发热体

摘要

一种快速沉积炉石墨发热体，涉及半导体硅片生产技术领域，由胚体和连接体构成，在胚体上设有连接体，胚体和连接体为一体结构，胚体上设有上开口，连接体上设有下开口，上开口与下开口的中心相互对应，在胚体和连接体上均设有伸缩缝，伸缩缝相互连通；本实用新型实用性强，发热体表面的几何尺寸、曲面形状，均由用户要求的、待制造的石墨坩埚的内表面得来，沉积致密后几乎不用加工即可使用，周期短，效率高，节约材料，石墨发热的形状不同于传统意义的管状、带状、或棒状的组合石墨发热体。

主权项

一种快速沉积炉石墨发热体，包括胚体和连接体，其特征是：在胚体上设有连接体，胚体和连接体为一体结构，胚体上设有上开口，连接体上设有下开口，上开口与下开口的中心相互对应，在胚体和连接体上均设有伸缩缝，伸缩缝相互连通。