一种探针卡探针的颗粒物清洁控制方法

摘要

本发明公开了一种探针卡探针的颗粒物清洁控制方法，在每片晶圆的电性测试完毕后及在探针的每次清洁后，分别进行对相邻探针针尖部位的光学影像之间进行逐个比对的颗粒物沾染检查，据此作出探针是否需要进行清洁或再次清洁的判断及进行对应处理，并限定了允许再次清洁的次数，可及时采取报警及停机处理措施，对多次清洁的效果进行控制，从而可以及时清洁探针沾染的颗粒物，避免盲目清针现象和因缺乏清针效果检测造成沾染颗粒物的探针继续用于晶圆的电性测试、导致测试结果偏差甚至器件烧毁的严重后果，因此，可以对探针卡机台的探针清洁周期及清洁效果进行有效控制。

主权项

一种探针卡探针的颗粒物清洁控制方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：设定所述探针卡的所述探针的颗粒物沾染的检查周期，并按照检查周期，对规定片数的晶圆进行晶圆的电性测试；步骤二：在所述检查周期规定片数晶圆的电性测试完毕后，对所述探针卡的全部所述探针逐个进行颗粒物的沾染检查，通过将所述探针卡的每个所述探针与其相邻探针的针尖部位的光学影像之间进行比对，根据定义相比对的相邻所述探针针尖部位的光学影像的面积之间是否存在差异的条件，来整体判断所述探针是否存在颗粒物沾染，并设定相比对的相邻所述探针针尖部位的光学影像的面积之间的差异率容差，来避免将相邻所述探针针尖部位面积大小有略微不同时的比对结果误判为存在颗粒物沾染；其中，当每组相比对的相邻所述探针针尖部位的光学影像之间都不存在差异时，判断所述探针整体不存在颗粒物沾染，当只要其中一组相比对的相邻所述探针针尖部位的光学影像之间存在差异时，即判断所述探针整体存在颗粒物沾染；其中，所述探针针尖部位的光学影像是指从垂直朝向所述探针针尖方向所拍摄的光学影像；步骤三：当判断所述探针整体不存在颗粒物沾染时，执行对所述探针继续用于进行晶圆的电性测试；当判断所述探针整体存在颗粒物沾染时，即执行对全部的所述探针进行砂纸扎针清洁；步骤四：对清洁完毕的所述探针，按照步骤二再次进行所述颗粒物的沾染检查，并根据对所述探针整体是否存在颗粒物沾染的判断结果，按照步骤三执行对所述探针继续用于进行晶圆的电性测试或进行再次清洁的处理；步骤五：对进行再次清洁后的所述探针，在允许再次清洁的次数范围内，重复按照步骤四执行对所述探针的沾染检查和再次清洁的处理，直至所述探针被判断已整体不存在颗粒物沾染，可继续进行晶圆的电性测试，或在到达允许再次清洁的次数限值后仍判断所述探针整体存在颗粒物沾染时，进行报警并停机处理；其中，对所述探针进行清洁和再次清洁时，通过设定所述清洁时的扎针次数以及扎针针压，来对清洁的效果进行控制，并且，对所述探针进行所述再次清洁时，通过设定增加所述清洁时的扎针次数以及扎针针压，来对再次清洁的效果进行控制。