一种基于石墨烯的偏振不敏感光调制器

摘要

本发明公开了一种基于石墨烯的偏振不敏感光调制器，包括基板(30)、石墨烯水平嵌入的第一石墨烯脊形波导(10)和石墨烯垂直嵌入的第二石墨烯脊形波导(20)，第一石墨烯脊形波导(10)和第二石墨烯脊形波导(20)均位于基板(30)上，第一石墨烯脊形波导(10)中嵌入的石墨烯和第二石墨烯脊形波导(20)中嵌入的石墨烯相互垂直。本发明通过加入石墨烯嵌入方向相互垂直的两段波导，可以起到同时对TE和TM模有效折射率的动态调谐，从而达到对入射光波偏振方向无关的调制，有效地解决目前石墨烯光调制器对入射光波偏振方向敏感的技术难题，同时还缩短了光调制器的尺寸，减小了调制器的体积，具有较高的调制速率。

主权项

一种基于石墨烯的偏振不敏感光调制器，其特征在于：包括基板(30)、石墨烯水平嵌入的第一石墨烯脊形波导(10)和石墨烯垂直嵌入的第二石墨烯脊形波导(20)，第一石墨烯脊形波导(10)和第二石墨烯脊形波导(20)均位于基板(30)上，第一石墨烯脊形波导(10)中嵌入的石墨烯和第二石墨烯脊形波导(20)中嵌入的石墨烯相互垂直；第一石墨烯脊形波导(10)从上到下依次包括第一脊部(11)、第一水平嵌入石墨烯层(13)、第二水平嵌入石墨烯层(14)和第二脊部(12)，第一脊部(11)与第一水平嵌入石墨烯层(13)被第一隔离介质层(15)隔离，第一水平嵌入石墨烯层(13)与第二水平嵌入石墨烯层(14)被第二隔离介质层(16)隔离，第二水平嵌入石墨烯层(14)与第二脊部(12)被第三隔离介质层(17)隔离；所述的第二石墨烯脊形波导(20)从左到右依次包括第三脊部(21)、第一垂直嵌入石墨烯层(23)、第二垂直嵌入石墨烯层(24)和第四脊部(22)，第三脊部(21)与第一垂直嵌入石墨烯层(23)被第四隔离介质层(25)隔离，第一垂直嵌入石墨烯层(23)与第二垂直嵌入石墨烯层(24)被第五隔离介质层(26)隔离，第二垂直嵌入石墨烯层(24)与第四脊部(22)被第六隔离介质层(27)隔离；所述的基板(30)包括半导体衬底层(31)和位于半导体衬底层(31)上表面的绝缘层(32)，第一石墨烯脊形波导(10)和第二石墨烯脊形波导(20)位于绝缘层(32)上。