一种基于柔性连接的双质量解耦硅微陀螺仪

摘要

本发明公开了一种基于柔性连接的双质量解耦硅微陀螺仪，包括设有电信号引出线的基座和置于基座上的微陀螺机械结构层；微陀螺机械结构层包括第一子结构、第二子结构和子结构连接装置，第一子结构和第二子结构通过子结构连接装置连接；本发明为减小温度和应力对整个微陀螺的影响，采用了完全相同的两个子结构，两个子结构左右对称布置，运动方式为x‑y平面内的线运动；采用子结构连接装置，使左右两个子结构成为一个整体，保证了左右两个子结构运动频率的一致性，且子结构连接装置的设计保证了驱动运动和检测运动的隔离，实现了结构运动的全解耦；子结构连接装置保证了陀螺仪驱动运动和检测运动时两个子结构的驱动部分和检测部分分别为相向的线运动。

主权项

一种基于柔性连接的双质量解耦硅微陀螺仪，其特征在于，包括设有电信号引出线的基座和置于基座上的微陀螺机械结构层；微陀螺机械结构层包括第一子结构、第二子结构和子结构连接装置，第一子结构和第二子结构通过子结构连接装置连接；所述第一子结构和第二子结构为轴对称结构，第一子结构和第二子结构为结构相同的角速度测量子结构，包括质量块、驱动机构、检测机构和子结构固定基座；驱动机构有两个，分别设在质量块的上下两端并分别通过固接U型折叠梁与质量块的上下两端连接；检测机构有四个，其中两个设在质量块上端的左右两侧并分别通过固接U型折叠梁与质量块上端的左右两侧连接，另外两个设在质量块下端的左右两侧并分别通过固接U型折叠梁与质量块下端的左右两侧连接；驱动机构和检测机构均通过子结构固定基座固定在基座上；所述的驱动机构为微型驱动电容机构，所述的微型驱动电容机构包括驱动活动梳齿架、驱动活动梳齿、驱动固定梳齿和驱动反馈固定梳齿；驱动活动梳齿有两个以上，等间距垂直设在驱动活动梳齿架上；驱动固定梳齿和驱动反馈固定梳齿均与驱动活动梳齿的数量相等，每个驱动活动梳齿的两侧均分别配合有一个驱动固定梳齿和一个驱动反馈固定梳齿，每个驱动固定梳齿和驱动反馈固定梳齿均固定在基座上，所有驱动反馈固定梳齿连为一体结构；驱动活动梳齿架通过固接U型折叠梁与质量块连接；所述的检测机构为微型检测电容机构，所述的微型检测电容机构包括检测活动梳齿架、检测活动梳齿、检测固定梳齿正极和检测固定梳齿负极；检测活动梳齿有两个以上，等间距垂直设在检测活动梳齿架上；检测固定梳齿正极和检测固定梳齿负极均与检测活动梳齿的数量相等，每个检测活动梳齿的两侧均分别配合有一个检测固定梳齿正极和一个检测固定梳齿负极，每个检测固定梳齿正极和检测固定梳齿负极均固定在基座上，检测固定梳齿正极连为一体结构；检测活动梳齿架通过固接U型折叠梁与质量块连接。