图形预处理方法以及测量图形密度的方法

摘要

本发明的图形预处理方法以及测量图形密度的方法中，图形预处理方法包括：在图形的直角处，当直角为90°或者270°，在所述图形的所述直角处切去或着补上一等腰直角三角形。本发明的测量图形密度的方法包括：提供光刻掩模板版图，将所述光刻掩模板版图按单位面积划分成若干单元，每个单元包括有若干目标图形和若干冗余图形；采用图形预处理方法，分别对所述目标图形和所述冗余图形进行预处理，得到预处理目标图形和预处理冗余图形；计算所述单元内的所有预处理目标图形以及所有预处理冗余图形的面积，得到总面积，用总面积除以单位面积，得到单元的图形密度。本发明对目标图形和冗余图形的直角进行修正，使得最终测得的图形密度更准确。

主权项

一种图形预处理方法，其特征在于，包括：步骤S1，确定光刻工艺中的最小线宽，确定所述图形中的某一直角的两直角边的大小为第一边长和第二边长；步骤S2，得出第一边长和第二边长与最小线宽的比值关系为第一比值和第二比值，如果第一比值和第二比值均大于等于1，则进行步骤S3，对某一直角预处理；步骤S3，如果所述直角为90°，依据一比值与边长关系对照表，在所述图形的所述直角处切去一等腰直角三角形；如果所述直角为270°，依据比值与边长关系对照表，在所述图形的所述直角处补上一等腰直角三角形；步骤S4，重复进行步骤S1‑S3，对所述图形中的所有直角进行预处理，得到预处理图形；其中，所述比值与边长关系对照表为根据所述第一比值和所述第二比值的大小制定的，所述比值与边长关系对照表包括所述第一比值、所述第二比值以及与所述第一比值和所述第二比值相对应的等腰直角三角形的直角边边长的数值表；所述等腰直角三角形的两个直角边与所述图形的所述直角的两条边重合。