一种光学系统波像差测量装置与测量方法

摘要

本发明公开了一种光学系统波像差测量装置和方法，装置包括线偏振平面波发生源、1/2波片、偏振分光棱镜、1/4波片、反射装置以及夏克‑哈特曼波前传感器，线偏振平面波发生源用于产生线偏振平面波；1/2波片用于将线偏振平面波转换后成为s偏振平面波；偏振分光棱镜用于将经1/2波片透射的s偏振平面波反射到1/4波片，并透射来自1/4波片透射的p偏振光；1/4波片用于将来自偏振分光棱镜的s偏振平面波转换成为圆偏振平面波，以及将由来自反射装置的圆偏振平面波转换成为p偏振平面波；反射装置用于使来自1/4波片的圆偏振平面沿原路返回；夏克‑哈特曼波前传感器则用于测量入射到其上的p偏振光的波像差。本发明可以实现各种复杂光学系统波像差的高精度检测。

主权项

一种光学系统波像差测量装置，用于测量待测光学系统的波像差，该测量装置包括偏振分光棱镜、反射装置以及夏克‑哈特曼波前传感器，其特征在于，所述测量装置还包括线偏振平面波发生源、1/2波片和1/4波片，其中，所述线偏振平面波发生源用于产生线偏振平面波；所述1/2波片用于将所述线偏振平面波转换后成为s偏振平面波；所述偏振分光棱镜用于将经所述1/2波片透射的s偏振平面波反射到1/4波片，并透射来自所述1/4波片透射的p偏振光；所述1/4波片用于将来自所述偏振分光棱镜的s偏振平面波转换成为圆偏振平面波，以及将由来自所述反射装置的圆偏振平面波转换成为p偏振平面波；所述反射装置用于使来自1/4波片的圆偏振平面波沿原路返回；所述夏克‑哈特曼波前传感器则用于测量入射到其上的p偏振光的波像差。