| 摘要 |
입자상 물질 센서 및 그를 이용한 배기가스 정화 시스템이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 입자상 물질 센서는 절연기판; 상기 절연기판의 상부에 노출되는 상부면의 일부로 형성되되 제 1 면적(A1)을 갖는 감응부; 상기 감응부 상에 노출되도록 배치되며, 제 1 전기접속단자와 연결되는 제1접지 전극과, 상기 제1접지 전극과 이격 배치되되, 상기 제1접지 전극과 전기적으로 연결되지 않고 상호 이격배치되는 복수 개의 이격 전극을 포함하는 제1전극; 상기 제 1 접지 전극 및 상기 복수 개의 이격 전극과 대응되도록 상기 절연기판 내부에 배치되며 서로 전기적으로 연결된 복수 개의 제 2 접지 전극을 포함하는 제 2 전극; 및 상기 절연기판 내부에 배치되어 상기 제 1 전극 및 제 2 전극을 가열하는 히터부;를 포함하며, 상기 제 1 접지 전극 및 상기 복수 개의 이격 전극 전체의 면적을 포함하는 제 3 면적(A3)이 상기 감응부의 제 1 면적(A1)에서 상기 제 3 면적(A3)을 제외한 제 2 면적(A2)보다 넓게 형성될 수 있다. |
