摘要 |
고정밀도의 동작을 안정되게 확보할 수 있는 간이화된 전자 비례 밸브를 제공한다. 전자 비례 밸브(10)는, 스풀 수용 구멍(41)이 형성된 밸브 본체(40)와, 밸브 본체에 대하여 동작 가능하게 스풀 수용 구멍에 수용된 스풀(70)과, 스풀 수용 구멍 안으로 연장되어 들어가고 또한 스풀에 접촉하는 구동 로드(25) 및 구동 로드를 구동하는 구동체(22)를 갖는 구동 장치(20)를 갖는다. 압력원에 연통하는 압력원 포트(pp)와, 탱크에 연통하는 탱크 포트(tp)와, 제어압이 출력되는 제어 포트(ap)가 밸브 본체에 형성되어 있다. 스풀 수용 구멍 내에 있어서의 스풀의 위치를 제어함으로써, 압력원 포트 또는 탱크 포트를 제어 포트와 연통시킨다. 제어압이, 구동 로드로부터 스풀로의 추력과는 역방향으로 구동 로드에 작용한다. |