| 摘要 |
광학 장치가 작업편을 유지하는 마운트를 포함한다. 광학 헤드의 어레이가 작업편으로 각각의 패턴을 갖는 방사선을 투영 한다. 교정 장치는 각각의 패턴의 이미지를 캡처한다. 교정 장치가 장착된 모션(motion) 어셈블리는 광학 헤드의 어레이와 마운트 사이의 다수의 상이한 위치 사이에서 교정 장치를 운반하여, 상기 상이한 위치 각 각에서 광학 헤드 각 각에 의해 투영된 각각의 패턴을 인터셉트하고 영상화하도록 한다. 프로세서는 장치의 동작을 모니터링하기 위하여 상이한 위치에서 교정 장치에 의해 캡쳐된 이미지를 처리한다. |
