| 摘要 |
본 발명은 초점 위치 감시용 센서 장치가 장착된 레이저 가공 헤드(1)에 관한 것으로, 상기 레이저 가공 헤드(1)는 집속 렌즈(4) 및 그 뒤에 배치된 보호 유리(5)를 포함함으로써, 평행 빔 다발로서 상기 집속 렌즈(4)에 입사된 가공 빔 다발(9)을 상기 집속 렌즈(4) 및 그 뒤에 배치된 보호 유리(5)의 결과로 발생한 초점(11)에 집속시키며, 이 때 상기 초점에는 작업편(12)이 위치한다. 평행한 빔 경로에서 상기 집속 렌즈(4)상류에 빔 분할기(3)가 배치되며, 상기 빔 분할기는 상기 레이저 가공 헤드(1)에 도입된 레이저 빔 다발(8)의 제1 부분, 즉 가공 빔 다발(9)을 투과시키고, 제2 부분 즉 측정 빔 다발(10)을 반사한다. 반사 방향에서, 상기 빔 분할기(3)보다 뒤에 배치된 거울(6)은, 센서(13)의 수신면에서 상기 초점(11)과 공액점인 화소(17)에 상을 형성시키기 위해, 상기 측정 빔 다발(10)을 상기 집속 렌즈(4)의 광학 축에 대한 각도(α)로 상기 집속 렌즈에 반사하고, 상기 센서는 초점 위치 감시를 위한 평가 유닛(14)과 연결된다. |
