发明名称 INTEGRATED CIRCUIT PACKAGE
摘要 본 명세서의 실시예들은 집적 회로 패키지를 조립하는 방법에 관한 것이다. 실시예들에서 이러한 방법은 패시베이션층이 패턴화되지 않은 웨이퍼를 제공하여 웨이퍼에 내장되는 금속 도전체들의 충돌을 방지하는 것을 포함할 수 있다. 이러한 방법은 패시베이션층 상에 유전체 재료를 라미네이트하여 유전체층을 형성하는 것 및 유전체 재료를 선택적으로 제거하여 유전체층에 보이드들을 형성하는 것을 더 포함할 수 있다. 이들 보이드들은 금속 도전체들 위에 배치된 패시베이션층의 부분들을 드러낼 수 있다. 그리고 이러한 방법은 패시베이션층의 부분들을 제거하여 금속 도전체들을 드러내는 것을 포함할 수 있다. 다른 실시예들이 개시 및/또는 청구될 수 있다.
申请公布号 KR101697421(B1) 申请公布日期 2017.01.17
申请号 KR20150020129 申请日期 2015.02.10
申请人 인텔 코포레이션 发明人 메이어, 토르스텐;오프너, 제랄드;오시안데르, 테오도라;주도크, 프랭크;게이셀러, 크리스티안
分类号 H01L23/31 主分类号 H01L23/31
代理机构 代理人
主权项
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