Lanthanum compound method of synthesis of lanthanum compound lanthanum precursor composition and methods of forming thin film and integrated circuit device

摘要

란타넘 트리스(비스(트리알킬실릴)아미드) (lanthanum tris[bis(trialkylsilyl)amide]) 착체와, 알킬시클로펜타디엔 (alkylcyclopentadiene)을 반응시켜 Si 함유 중간체를 형성하고, Si 함유 중간체와 카보디이미드계 화합물을 반응시켜 란타넘 화합물을 형성한다.