OPTICAL CHARACTERISTIC MEASUREMENT SYSTEM AND CALIBRATION METHOD FOR OPTICAL CHARACTERISTIC MEASUREMENT SYSTEM

摘要

비교적 짧은 시간에 셋업할 수 있고, 또한 검출 감도를 높일 수 있는 광학 특성 측정 시스템이 제공된다. 광학 특성 측정 시스템은, 제1 측정 장치를 포함하고 있다. 제1 측정 장치는, 하우징 내에 배치된 제1 검출 소자와, 제1 검출 소자에 적어도 부분적으로 접합되며, 검출 소자를 냉각하기 위한 제1 냉각부와, 하우징 내의 검출 소자의 주위에 발생하는 온도 변화를 억제하기 위한 억제 기구를 포함한다.