| 摘要 |
인젝터, 상기 인젝터를 갖는 박막 형성 장치, 및 그 운전 방법에 관한 것이다. 챔버의 측벽에 기판이 드나드는 출입구가 배치된다. 상기 챔버의 내부에 상기 기판이 안착되는 서셉터가 배치된다. 상기 챔버의 측벽에 상기 출입구와 떨어진 인젝터가 배치된다. 상기 챔버의 측벽에 상기 출입구 및 상기 인젝터와 떨어진 배기구가 배치된다. 상기 인젝터는 제1 부분 및 제2 부분을 갖는다. 상기 제1 부분은 제1 캐리어 가스 공급 장치와 연통되며 수평 폭이 높이보다 큰 제1 층 토출구를 갖는다. 상기 제2 부분은 상기 제1 층 토출구 상에 제1 반응 가스 공급 장치와 연통되며 수평 폭이 높이보다 큰 제2 층 토출구를 갖는다. |
