Defect inspection apparatus

摘要

결함 검사장치의 일 실시예는, 검사대상체를 촬영하는 촬영부; 상기 촬영부를 둘러싸도록 배치되고, 상기 검사대상체에 조광하는 조명을 포함하고, 상기 조명은 복수로 분할되어 각각 순차적으로 상기 검사대상체에 조광하고, 상기 촬영부는 상기 검사대상체에서 상기 광이 반사되는 부위를 촬영하는 것일 수 있다.