| 摘要 |
배선 구조체를 갖는 반도체 소자를 제공한다. 이 반도체 소자는 반도체 기판 상에 배치되는 반도체 패턴; 상기 반도체 패턴 상에 배치되는 메모리 셀 어레이; 및 상기 반도체 패턴과 상기 반도체 기판 사이에 배치되는 주변 배선 구조체를 포함한다. 상기 주변 배선 구조체는 상부 배선 구조체 및 상기 상부 배선 구조체 하부의 하부 배선 구조체를 포함하고, 상기 상부 배선 구조체는 상부 배선 및 상부 배리어 층을 포함하고, 상기 하부 배선 구조체는 하부 배선 및 하부 배리어 층을 포함하고, 상기 상부 배리어 층은 상기 상부 배선의 바닥면 하부에 배치되며 상기 상부 배선의 측면을 덮지 않고, 상기 하부 배리어 층은 상기 하부 배선의 바닥면 하부에 배치되며 상기 하부 배선의 측면을 덮는다. |
