| 摘要 |
본 발명의 목적은 에칭용 지그의 베이스 클램프의 구조를 새롭게 설계하여 유리기판의 하단부가 베이스 클램프 홈에 고이는 에칭 용액으로 인해 과다 에칭되는 문제를 해소하고자 하는 것이다. 본 발명은, 상기 문제를 해결하기 위해, 한 쌍의 롤러 사이에 유리기판이 안착 되게 하고 유리기판의 하단의 저면부를 받쳐주는 지지막대와 유리기판의 저면부가 접촉면적을 좁힐 수 있도록 지지막대의 단면형상을 일자형이 아닌 볼록형으로 만든 지그의 베이스 클램프 모듈을 제공하였다. 이러한 베이스 클램프 모듈은 다수가 나란히 배열되게 제작되어 다수의 유리기판이 고정되어 한꺼번에 에칭 처리될 수 있게 구성된다. 또한, 롤러는 연성 탄성체로 제작되어 유리기판이 에칭되어 두께가 얇아짐에 따라 신장 됨으로써 유리기판의 에칭 공정 내내 안정되게 유리기판을 잡아줄 수 있다. |
