SIMULTANEOUS MEASUREMENT OF BEAMS IN LITHOGRAPHY SYSTEM

摘要

본 발명은, 다중의 비임으로부터 개별적으로 변조된 비임의 강도를 결정하기 위해, 복수의 비임을 동시에 감지하도록 된 센서 영역을 구비하여 그들의 집합 신호를 제공하는 센서를 구비한 측정 장치를 포함하는 리소그래피 시스템에 관한 것이다. 비임은 관련 순간 블랭킹 패턴에 따라 개별적으로 변조된다. 본 발명은 또한 비임들의 측정된 집합 신호 및 순간 블랭킹 패턴에 따라 개별 비임의 강도를 계산하는 방법에 관한 것이다.