| 摘要 |
감소된 결함을 갖는 중합체 코팅을 생성하는 공정 및 장치가 기술되어 있다. 이 공정은 중합성 물질과 용제의 용액을 기판 상에 코팅하는 단계, 중합성 물질의 일부분을 중합하는 단계, 및 중합성 물질의 일부분의 중합 후에 대부분의 용제를 제거하는 단계를 포함한다. 임의의 나머지 중합성 물질의 추가적인 중합이 용제의 제거 후에 일어날 수 있다. 이 장치는 기판을 풀림 롤(unwind roll)로부터 감김 롤(windup roll)로 전달하는 웨브라인(webline), 중합성 물질과 용제의 용액을 기판 상에 코팅하는, 풀림 롤에 근접해 있는 코팅 섹션, 중합성 물질의 일부분을 중합하는, 코팅 섹션으로부터 다운웨브에 있는 중합 섹션, 및 중합성 물질의 일부분의 중합 후에 용제를 제거하는, 중합 섹션으로부터 다운웨브에 있는 용제 제거 섹션을 포함한다. |
