MULTIPLE BEAM COMBINER FOR LASER PROCESSING APPARATUS AND A RADIATION SOURCE

摘要

증폭된 방사의 빔들을 결합하기 위한 장치 및 방법이 개시된다. 빔 결합기는 시준 광학계를 갖는데, 이 시준 광학계는 복수의 가간섭성 방사 빔을 시준 광학계의 광학 축에 관하여 일정한 입사 각도에서 수신하도록 위치된다. 일부 실시예들에서는, 개별 입사 각도들이 상이할 수도 있다. 시준 광학계는 빔들을 시준하는 광학 속성을 갖는다. 광학 속성은 굴절 또는 반사, 또는 그들의 조합일 수 있다. 복수의 빔을 시준 광학계로 지향시키기 위해, 수집 광학계(collecting optic)가 더 제공될 수 있다. 빔 결합기는 레이저와 같은 셋 이상의 증폭된 가간섭성 방사 빔을 단일 빔으로 결합하기 위해 열 처리 장치 내에서 이용될 수 있다.