| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Messzellenanordnung (100) enthaltend eine kapazitive Membrandruckmesszelle (20) zur Messung von Vakuumdruck mit einer Membran als Druckwandler, und eine Leiterplatte (10), die derart gegenüber der Membrandruckmesszelle (20) positioniert angeordnet wird, dass diejenige Komponente, die als Temperatursensor wirkt, den ersten Gehäusekörper über eine Wärmeübergangszone (13) thermisch kontaktiert. Eine weitere elektronische Komponente ist als Mikrochip (12) ausgebildet. Dieser enthält einen Digitalen Signal-Prozessor (DSP) mit einem Temperatur-zu-Digital-Converter (TDC) und einem Kapazitäts-zu-Digital-Converter (CDC), der nach dem Zeitmessverfahren arbeitet, welche die Temperatur (T x ) und die Kapazität (C x ) der Membrandruckmesszelle (20) ermitteln im Vergleich mit einem an der Leiterplatte angeordneten Referenzwiderstand (R ref ) für die Temperatur und einem Referenzkondensator (C ref ) für die Kapazität (C x ), welche das Mass bildet für den zu messenden Druck abhängig von der Deformation der Membran, wobei aus beiden gemessenen Signalen mit Korrelationsmitteln, welche vorgängig aus einem Kalibriervorgang ermittelt wurden, ein Temperatur-korrigiertes Drucksignal abgeleitet wird, welches als Drucksignal p = f(C x ,T eff ) am Signalausgang (16) ausgegeben wird zur weiteren Verarbeitung. Hierdurch wird eine rasche Druckmessung ermöglicht bei hoher Messgenauigkeit. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Vakuumdruckmessung sowie eine Verwendung der Messzellenanordnung. |
