| 摘要 |
【課題】シリンダ内のピストンを挟んだ上下に位置する圧力室において圧力の安定化を図ることを可能とした流体圧アクチュエータを提供する。【解決手段】ピストン３は、第１の圧力室Ｐ１から第１のポート８と第３のポート１０との間の隙間に流入する流体Ｋにより形成される第１の流体ベアリングＢ１と、第２の圧力室Ｐ２から第２のポート９と第３のポート１０との間の隙間に流入する流体Ｋにより形成される第２の流体ベアリングＢ２とを介して、シリンダ２とは非接触な状態で移動自在に支持される。ピストン３は、第１の流体ベアリングＢ１が形成される位置に第１の外周部３ａと、第２の流体ベアリングＢ２が形成される位置に第２の外周部３ｂと、第１の外周部３ａと第２の外周部３ｂとの間で第１の外周部及３ａび第２の外周部３ｂよりも縮径された縮径部３ｃとを有する。【選択図】図１ |
