| 摘要 |
【課題】ガス供給対象装置への電力の供給が遮断された後に再開された場合にも、チャンバーへのガスの供給状況を把握し、その状況に応じた処理を行えるようにする。【解決手段】ガス供給対象装置は、チャンバー１０ａへのガスの供給状況を示す３つの状態Ａ〜Ｃを選択的に取り得ると共に、当該ガス供給対象装置への電力の供給が遮断された場合に、電力の供給が遮断された時点における状態を保持することが可能な保持手段１２を有する。ガス供給対象装置への電力の供給が遮断された後に再開された場合に、保持手段１２が状態Ａ〜Ｃのいずれにあるかが判断され、チャンバー１０ａへのガスの供給状況に応じた処理が行われる。【選択図】図３ |
