| 摘要 |
【課題】比較的簡単な装置構成で粒子を製造回収できる粒子製造装置を得る。【解決手段】ミスト供給ライン７１を介して立方状チャンバー７の導入口７ｉから液滴状の原料が水平方向Ｄ７に導入され、立方状チャンバー７内部の捕獲空間ＳＰ７に導かれる。立方状チャンバー７の外部において、水平方向Ｄ７と直交する垂直方向において捕獲空間ＳＰ７を挟むように、捕獲空間ＳＰ７の上部及び下部に天井ホットプレート８ａ及び床ホットプレート８ｂが設けられ、立方状チャンバー７の内部において、底面７ｂ上に粒子捕集基板９が設けられる。【選択図】図１ |
