ユニモルフ型超音波探触子およびその製造方法

摘要

ユニモルフ型超音波探触子は、それぞれ所定の形状を有する複数の開口が形成された基板と、複数の開口の一端をそれぞれ閉じるように基板に形成された複数の振動板と、複数の振動板の表面上に形成されると共にそれぞれ圧電体層と圧電体層の両面に形成された一対の電極層を有する複数の圧電素子部と、複数の圧電素子部が埋め込まれるように基板の表面上に配置され且つ音響インピーダンス１．５×１０６〜４×１０６ｋｇ／ｍ２ｓ、ショアＡ硬度７５以下の有機樹脂からなる被覆層とを備えている。