アルミニウム化合物、薄膜形成用原料及び薄膜の製造方法

摘要

本発明は、下記一般式（Ｉ）で表されるアルミニウム化合物に関する。また本発明は、該アルミニウム化合物を含有してなる薄膜形成用原料に関する。下記一般式（Ｉ）式中、Ｒ1及びＲ2は各々独立に炭素数２〜５の直鎖又は分岐状のアルキル基を表し、Ｒ3はメチル基又はエチル基を表す。Ｒ1及びＲ2がエチル基であることが好ましい。本発明の化合物は、低融点であり、充分な揮発性を示し且つ高い熱安定性を有し、ＣＶＤ法による薄膜形成用原料として適している。