| 摘要 |
【課題】グラフェンの特性を活用した小型・高速・高効率の受光素子および光変調器を提供することを課題とする。【解決手段】実施形態のグラフェン受光素子は、基板と、第１の絶縁膜と、第１および第２の高屈折率領域と、第１および第２の導電性半導体領域と、第２の絶縁膜と、グラフェン膜と、第３の絶縁膜と、第３および第４の高屈折率領域と、第４の絶縁膜と、第１および第２の電極と、第３および第４の電極と、を備える。第１から第４の高屈折率領域およびこれらに挟まれた部分は一体の光導波路を構成しており、光導波路に入射された光に応じた電流が第１および第２の電極から出力される。【選択図】図１ |
