| 摘要 |
본 발명은 피증착물을 공정 온도로 정확하게 유지하면서 동시에 수평 이동 가능한 구조를 가져서 인라인 방식의 화학기상 증착 공정에 적합한 인라인 화학기상증착 시스템을 제공하는 것으로서, 본 발명에 따른 인라인 화학기상증착 시스템은, 진공 챔버 내부에서 피증착물을 수평 이동시키면서 표면에 박막을 화학기상증착하는 공정 챔버; 상기 공정 챔버의 일측에 설치되며, 상기 공정 챔버로 피증착물을 공급하는 로딩챔버; 상기 로딩 챔버의 반대측에 설치되며, 상기 공정 챔버로부터 피증착물을 전달받아서 외부로 배출하는 언로딩 챔버;를 포함하며, 상기 피증착물은, 일정한 플레이트 형상을 가지는 장착 트레이; 상기 장착 트레이 내부에 설치되며, 외부에서 공급되는 전원을 인가받아 열을 발생시키는 발열수단; 상기 장착 트레이의 상면에 일정한 간격으로 배치되는 다수개의 피증착 기판;을 포함하는 것을 특징으로 한다. |
