| 摘要 |
【課題】清浄化のために基板を格納する格納ユニットが提供される。【解決手段】一実施形態の格納ユニットは、容器、整流板、及び排気ダクトを備える。容器は、鉛直方向において多段に複数の基板を配置するための第１空間、及び、第１空間の後方の第２空間を提供する。整流板は、第１空間と第２空間との間に設けられている。排気ダクトは、第２空間に連通している。整流板は、第１空間に面する有効領域を有する。有効領域は、第１領域及び第２領域を含んでいる。第１領域は、第１空間のに面する領域である。第２領域は、第１領域の一方側又は両側で延在している。第１領域には、当該第１領域にわたって分布するように複数の貫通孔が形成されている。第２領域は、第１領域のコンダクタンスよりも低いコンダクタンスを有している。【選択図】図４ |
