发明名称 ワイヤーソー装置およびワークの切断方法
摘要 【課題】ワーク切断工程の中盤段階においても飛散するスラリーを効率的に捕集して、切り出されたワークの表面品質を向上させることができるワイヤーソー装置およびワークの切断方法を提供する。【解決手段】切断対象のワークWを横切る方向に走行可能に張設される少なくとも1本のワイヤー11と、ワークWを保持するとともにワークWをワイヤー11に対して相対移動させるワーク保持部12と、ワイヤー11の走行方向の上流側からワークWを切断するためのスラリーをワイヤー11に供給するスラリー供給部13と、ワークWとの接触により飛散するスラリーを捕集するスラリー捕集部14とを備えるワイヤーソー装置において、スラリー捕集部14は、ワークWに隣接配置された状態の下でワークWに付随して移動可能であるとともに、ワイヤー11との接触を防止するようワークWに対して後退可能に構成されていることを特徴とする。【選択図】図3
申请公布号 JP2017007044(A) 申请公布日期 2017.01.12
申请号 JP20150125697 申请日期 2015.06.23
申请人 株式会社SUMCO 发明人 福田 正樹;溝上 和貴;太田 慎二
分类号 B24B27/06;B28D5/04;B28D7/02;H01L21/304 主分类号 B24B27/06
代理机构 代理人
主权项
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