| 摘要 |
【課題】実際にめっきして膜厚分布を測定せずに、基板ホルダ、アノードホルダ、レギュレーションプレート、及び／又はパドルの位置を最適に調整する方法及び測定装置の提供。【解決手段】基板ホルダ１０３と、アノードホルダ１０５と、電場調整プレート１０６の調整方法は、基板ホルダ１０３が設置される位置に第１治具を設置する工程と、めっき槽１０１のアノードホルダ１０５又は電場調整プレート１０６が設置される位置に第２治具を設置する工程と、前記第１治具及び前記第２治具の一方が備えるセンサを用いてめっき槽１０１に設置された前記第１治具と前記第２治具との位置関係を測定する工程と、前記測定された位置関係に基づいて基板ホルダ１０３、アノードホルダ１０５、又は電場調整プレート１０６の設置位置を調整する工程と、を有するめっき装置１００。【選択図】図１ |
