| 摘要 |
【課題】流路を流通させる流体を変更する作業の迅速性と安全性を高めつつ、流路の流入口と流出口とに接続される配管との接続性を向上させる。【解決手段】ダイヤフラム１２ａに伝達される圧力を検出する圧力検出ユニット１０と、流路２１を流通する流体の圧力をダイヤフラム１２ａに伝達するためのダイヤフラム２２ｂとが形成された流路ユニット２０と、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に着脱可能に取り付けるナット３０とを備え、ナット３０は、圧力検出ユニット１０が有する位置決め溝１１ａの軸線Ｙ１回りの位置と流路ユニット２０が有する位置決め突起２２ａの軸線Ｙ２回りの位置とが一致する場合に、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に取り付ける圧力検出装置１００を提供する。【選択図】図４ |
