| 摘要 |
【課題】結像光学系と結像面との間に適切なスペースを確保することが可能な検査装置を提供する。【解決手段】結像光学系としてのレンズ１５からの光束を二方向の光束に分光するプリズム１６と、プリズム１６で分光された一方の光束による画像に対応した信号を出力する第１の撮像モジュール１７と、プリズム１６で分光された他方の光束による画像に対応した信号を出力する第２の撮像モジュール１８とを備える検査装置において、プリズム１６と撮像モジュール１７、１８との間に偏光フィルタ２１、２２等の調光手段を配置し、プリズ１６ムの屈折率を１．５以上かつ２．１以下の範囲に設定し、かつレンズ１５の後端から結像面１９ａ、２０ａまでの光路長Ａに対してプリズム１６が占める割合を４７％以上かつ７２％以下の範囲に設定する。【選択図】図２ |
