慣性力センサ

摘要

【課題】製造工程でのウェハ破損を抑制した検出素子を提供することを目的とする。【解決手段】検出素子を備える慣性力センサであって、前記検出素子は、第１の基板と、前記第１の基板の上に設けられる第２の基板と、前記第２の基板の上に設けられる第３の基板と、を有し、前記第３の基板は、支持部と、前記支持部に接続するアーム部と、前記アーム部に接続する錘部と、前記アーム部の周囲に設けられる周縁部と、を有する慣性力センサとした。【選択図】図１