少なくとも１つの面取りを有するシリコン系構成部品及びその製作方法

摘要

【課題】構成部品の美的外観を改善し、かつ機械的強度を改善するための、新たなタイプのシリコン系微小機械構成部品及び新たなタイプの製作方法を提案する。【解決手段】本発明は、少なくとも１つの面取りを有するシリコン系微小機械構成部品に関し、このシリコン系微小機械構成部品は、少なくとも１つの傾斜した側壁のエッチングステップを、垂直な側壁の「Ｂｏｓｃｈ」エッチングと組み合わせた方法から形成され、これにより、シリコン系ウェハの微小機械加工によって形成される構成部品の美的外観の改善及び機械的強度の改善が可能となる。【選択図】図１６