| 摘要 |
【課題】ターゲット保持冶具及び測定装置において、容易な操作により高い精度でターゲットを測定対象物に接触させる。【解決手段】光源から射出された測定光を反射する反射機構を備えるターゲットを保持し、ターゲットと磁石が磁気吸着可能な材料で形成された測定対象物の端面とを接触させるターゲット保持冶具であって、測定対象物と接触させた状態でターゲットを支持する支持部と、支持部の測定対象物と対向する側に配置され、測定対象物の端面の短辺方向においてターゲットが測定対象物に接触する位置を案内するガイド部と、ガイド部に固定され、測定対象物に磁気吸着可能な磁石を有する連結部と、を備える。【選択図】図１ |
