非接触浮上軸受式送風機およびそれを用いた精密空調システム

摘要

【課題】本質的に発塵源のない、精密空調設備を実現する。【解決手段】送風機に非接触の浮上式軸受を用い、軸受部の固体部同士を非接触化することで送風機からの発塵を防止する。送風機の軸受には磁気浮上式の非接触回転案内軸受を用いる。または動圧式の気体軸受式の非接触回転案内軸受を用いる。また、起動・停止時においても発塵が抑制できるように起動・停止の状態を制御する。またこの送風機を用いた精密空調装置を実現する。【選択図】図１