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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren, Folgendes aufweisen: Anordnen eines Substratstapels aufweisend ein erstes Substrat (120a) und ein zweites Substrat (120b) in einen Aufnahmebereich einer Substrathaltevorrichtung, wobei eine erste Seite (140a) des ersten Substrats (120a) einer ersten Seite (140a) des zweiten Substrats (120b) zugewandt ist; und Bearbeiten einer zweiten Seite (140b) des ersten Substrats (120a), welche dessen erster Seite (140a) gegenüberliegt, und Bearbeiten einer zweiten Seite (140b) des zweiten Substrats (120b), welche dessen erster Seite (140a) gegenüberliegt und der zweiten Seite (140b) des ersten Substrats (120a) abgewandt ist. |
