| 摘要 |
【課題】テーブル上に載置された円形基板の傾きを自動的かつ正確に修正することができるスクライブ装置を提供する。【解決手段】円形基板Ｗを回転可能なテーブル１に載置し、表面のスクライブ予定ラインＳ１、Ｓ２に沿ってカッターホイール１０またはレーザを用いてスクライブすることにより分断用の亀裂を形成するスクライブ装置Ａであって、円形基板Ｗの周縁に、スクライブ予定ラインＳ１、Ｓ２と平行であって円中心点Ｐを通る線上に切欠部Ｋが形成され、テーブル１上に載置した円形基板Ｗを観察して、その外形形状を検出可能な角度補正用カメラ１５によって得られた画像データを解析処理することにより、カッターホイール１０のスクライブ方向に対する円形基板Ｗのスクライブ予定ラインＳ１、Ｓ２の傾斜角度αを検出し、この傾斜角度αがゼロとなるようにテーブル１を回転操作させるコンピュータＣの制御部１８を備える。【選択図】図１ |
